常規(guī)CVD系統(tǒng)由管式爐、流量混合器、真空系統(tǒng)三部分組成。該系統(tǒng)可以滿足絕大部分氣氛和真空環(huán)境下的小樣品試驗(yàn)。每個(gè)部分都可以單獨(dú)匹配成不同部件以滿足不同的實(shí)驗(yàn)條件，如流量計(jì)可以選擇浮子流量計(jì)或質(zhì)量流量計(jì)，單通道或者多通道，管式爐可以選擇1200℃/1500℃/1700℃單溫區(qū)或者多溫區(qū)爐子。

　　主要參數(shù)：